高純供氣系統(tǒng)主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣,應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。
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