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吉林高純供氣系統(tǒng)生產(chǎn)廠家專業(yè)團(tuán)隊在線服務(wù)「在線咨詢」
2021-06-18






實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路

指氣瓶至儀器終端之間連接管線,一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成,輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調(diào)節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈,使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

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特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應(yīng)注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應(yīng)輕裝輕卸,嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮氣、二氧化碳等)進(jìn)行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時,應(yīng)對氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥,并有良好通風(fēng),嚴(yán)禁明火和其它熱源,嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙,氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒,應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。 

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高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高,對氣體中雜質(zhì)和露1點要求極為嚴(yán)格,需要達(dá)到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。以上是由艾明坷科技有限公司發(fā)表內(nèi)容,如有需要,歡迎新老客戶蒞臨。



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