




大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線,一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過(guò)濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成,輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。
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特氣系統(tǒng)知識(shí)分享:一般混合氣體
由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。
對(duì)氣體分析儀用氣體,如含氫10%,其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%;含氫40%,其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。
在測(cè)定放1射性物質(zhì)時(shí),使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦為底氣。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。
光化學(xué)反應(yīng)、動(dòng)植物實(shí)驗(yàn)室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問(wèn)題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。
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試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、特點(diǎn):試驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟(jì)性:建一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗(yàn)室空間,更換氣瓶時(shí)不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來(lái)自于同一個(gè)氣源。易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆1炸混合氣和達(dá)到著火溫度。此種供應(yīng)方式終會(huì)減少運(yùn)輸費(fèi)用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。
3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處,這樣的話可以更合理的設(shè)計(jì)工作場(chǎng)所。
4、安全性:保證其儲(chǔ)存和使用的安全性。保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。
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