




對于真空鍍膜機必須要掌握的名詞
低溫冷凝泵:它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵,是目前獲得極限真空1高,抽速1大的抽氣泵。
冷凝泵的工作原理:主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。
低溫冷凝:根據(jù)各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。
冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象,通常二氧化碳、水蒸氣、氮氣、壓氣等氣體首先形成霜,于低溫表面形成吸附層,進而達到吸附其它氣體的目的,低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個原因。
低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用,由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強,故可達到氣相壓強比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。
冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系,經(jīng)數(shù)據(jù)顯示,單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米,冷凝泵可以抽到10-8帕;油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴散泵油(日本的型號是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝,對抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機的制冷量要足夠大。
真空計:真空計是真空鍍膜機器上的重要組成部分,它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。
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真空鍍膜機鍍制薄膜不均勻的解決方法
制的薄膜的均勻性都會受到某種因素影響。真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來控制的,每個抽氣口都要同時開動并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強就不能均勻了,壓強對離子的運動是存在一定的影響的。另外抽氣的時間也要控制,太短會造成真空度不夠,但太長又浪費資源,不過有真空計的存在,要控制好還是不成問題的。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
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多功能真空鍍膜機
真空鍍膜機工作時,需要先抽真空,使真空室處于真空狀態(tài),再進行鍍膜;現(xiàn)代真空鍍膜機膜厚測量及監(jiān)控方法涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅(qū)動的蒸發(fā)源,通過PID控制回路傳動擋板,使蒸發(fā)率。鍍膜完成后,需要向真空室充氣?,F(xiàn)有技術(shù)中,真空鍍膜機的充氣管道直接與外界連通,容易把外界空氣中的灰塵帶入真空室,導(dǎo)致鏡片上吸附灰塵,造成產(chǎn)品不良真空蒸渡金屬薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子加熱使金屬熔融氣化,在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜,其中被鍍金屬材料用的1多的是鋁,在塑料薄膜或紙張表面鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄或鍍鋁紙,在鍍鋁薄膜生產(chǎn)過程中對于真空條件是有嚴(yán)格限定的,真空度過高或過低都會影響鍍膜的性能,目前,工廠里使用的鍍膜機對于真空度的控制并不是很穩(wěn)定,導(dǎo)致生產(chǎn)過程中產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定,因此,解決生產(chǎn)過程中鍍膜機里的真空度不易控制的問題尤為重要,而且內(nèi)部鍍膜物件的溫度高,需要及時降溫,提高工作效率。
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