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高純供氣系統(tǒng)公司的行業(yè)須知「艾明坷」
2021-06-18






實驗供氣系統(tǒng)使用安全注意事項

1.易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆1炸混合氣和達(dá)到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報警裝置。具體要求如下:

①可燃?xì)怏w比空氣輕者,報警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。

②可燃?xì)怏w比空氣重者,報警裝置設(shè)置在所處場所的1低處。

③可燃?xì)怏w的報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖,當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時,事故排風(fēng)裝置自動開啟,同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。

④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地,但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應(yīng)的檢測口,以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質(zhì)量。

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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)


由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險的供應(yīng)系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護(hù)需要專業(yè)、有經(jīng)驗的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。

(1)特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護(hù)自動化程度較高,并且安全可靠。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門,設(shè)置換瓶吹掃,程序自動進(jìn)行抽氣,置換等動作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負(fù)壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

(2)管路的維護(hù),由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對管路維護(hù)的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge),一般至少反復(fù)30次,對于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復(fù)的抽真空,抽完后關(guān)閉閥門,1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會造成管道泄漏的誤導(dǎo),遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標(biāo)達(dá)到各項雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進(jìn)水平。

以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負(fù)壓保壓為-12PSI,保壓時間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負(fù)波動。

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特種氣體鋼瓶在運(yùn)輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運(yùn)及儲存中應(yīng)注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運(yùn)輸和裝卸過程中應(yīng)輕裝輕卸,嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮氣、二氧化碳等)進(jìn)行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時,應(yīng)對氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥,并有良好通風(fēng),嚴(yán)禁明火和其它熱源,嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙,氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運(yùn)輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒,應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。 

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