手套箱操作前的工作

1、檢查氮?dú)馄坷锸欠裼械獨(dú)?，氮?dú)庖皶r更換，氮?dú)獾妮敵鰤毫υO(shè)定為0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正常開啟。

3、檢查手套箱內(nèi)循環(huán)是否打開。（凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的一個）

4、檢查設(shè)定里的上限壓力應(yīng)為+1，下限壓力為0

5、檢查氧和露1點(diǎn)是否正常（氧為0.1ppm以下，露1點(diǎn)-40以上）

6、過度艙真空泵應(yīng)處于常開狀態(tài)

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艾明坷手套箱優(yōu)點(diǎn)

1.密閉循環(huán)

手套箱內(nèi)的惰性氣體經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)和凈化器密閉循環(huán)，不斷地除水除氧

2.自動控制再生

除水除氧材料可以再生，再生過程由程序控制

3.自動清洗

手套箱內(nèi)的氣氛置換通過自動控制的清洗閥門完成

4.箱體壓力控制

手套箱內(nèi)壓力通過PLC自動控制, 工作壓力+/- 10mbar內(nèi)可以自由設(shè)定，超出+/- 12mbar系統(tǒng)自動保護(hù)

5.真空泵自動控制

真空泵要求在系統(tǒng)需要時自動開啟

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。3、對系統(tǒng)抽氣時，請緩緩打開閥門，并隨時注意手套的變化，如出現(xiàn)膨脹，應(yīng)減慢抽氣速度，如仍不能解決問題，應(yīng)停止抽氣，如手套發(fā)生爆裂，檢查三通閥是否打開。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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