實驗供氣系統(tǒng)使用安全注意事項

1.易1燃易1爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下：

①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設置在所處場所的頂部。

②可燃氣體比空氣重者，報警裝置設置在所處場所的1低處。

③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖，當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時，事故排風裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。

④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆1炸事故，必須在排氣管道上設置阻火器。

⑤可燃氣體在適當?shù)墓艿捞帒鼋拥?，但接地電阻應符合相關規(guī)定。

⑥各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口，以便在可燃氣體供應系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質量。

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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定

1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點經(jīng)修補后，應重新經(jīng)過氣密性試驗，合格后再按規(guī)定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統(tǒng)測試完畢，應充入高純氮氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。

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