




對(duì)于真空鍍膜機(jī)必須要掌握的名詞
低溫冷凝泵:它是利用低溫表面來(lái)凝聚氣體分子以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種泵,是目前獲得極限真空1高,抽速1大的抽氣泵。
冷凝泵的工作原理:主要是低溫表面對(duì)氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。
低溫冷凝:根據(jù)各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來(lái)冷卻。
冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象,通常二氧化碳、水蒸氣、氮?dú)狻簹獾葰怏w首先形成霜,于低溫表面形成吸附層,進(jìn)而達(dá)到吸附其它氣體的目的,低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個(gè)原因。
低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用,由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強(qiáng),故可達(dá)到氣相壓強(qiáng)比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。
冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系,經(jīng)數(shù)據(jù)顯示,單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米,冷凝泵可以抽到10-8帕;此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝,對(duì)抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機(jī)的制冷量要足夠大。使用磁控濺射的真空鍍膜機(jī)一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空,因氣袋會(huì)緩慢的放氣,因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴,真空系統(tǒng)上端會(huì)加裝磁控濺射槍?zhuān)瑸榱耸拐婵帐液驮凶銐虻膹?qiáng)度,保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化,厚度需要足夠。
真空計(jì):真空計(jì)是真空鍍膜機(jī)器上的重要組成部分,它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。
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真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域
1.在裝飾品方面
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內(nèi)外裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。
2.在刀具、模具等金屬切削加工工具方面
在生活中,我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過(guò)鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。
(1)金黃色的,是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層,TiN是代應(yīng)用廣泛的硬質(zhì)層材料。
(2)黑色的,是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。
(3)鈷銅色的,是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。
3.在建筑玻璃和汽車(chē)玻璃上
建筑玻璃有透光和隔熱兩個(gè)基本功能。
普通玻璃能透過(guò)絕大部分太陽(yáng)光輻射能量,這對(duì)采光和吸收太陽(yáng)光線(xiàn)的能量十分有利。而對(duì)于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過(guò)室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會(huì)造成很大的損失。
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,普通玻璃已越來(lái)越不能滿(mǎn)足人們的要求,而陽(yáng)光控制膜和低輻射膜正好能彌補(bǔ)了普通玻璃在這一方面的不足。陽(yáng)光控制膜可以滿(mǎn)足低緯度地區(qū)降低室內(nèi)溫度的要求;而低輻射膜則能滿(mǎn)足高緯度地區(qū)充分接受太陽(yáng)輻射能量和1大限度阻止室內(nèi)熱量外流的要求。真空鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。
在玻璃上,鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃,這種工藝在汽車(chē)玻璃上有很好的應(yīng)用。
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常見(jiàn)的真空鍍膜材料
氧化物一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。
其它化合物硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,硫1化鎘CdS等真空鍍膜材料。
金屬鍍膜材料高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。設(shè)備的維護(hù)要有日常維護(hù)和定期維護(hù)1,日常維護(hù)就是在當(dāng)天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象,就馬上解決。
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