




實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路
指氣瓶至儀器終端之間連接管線,一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成,輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。
使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動(dòng)調(diào)節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無(wú)縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈,使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。它分為調(diào)整零位用標(biāo)準(zhǔn)氣體(零位氣體)、監(jiān)測(cè)環(huán)境用標(biāo)準(zhǔn)氣、工業(yè)分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)1療儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣體、可燃性氣體泄漏用標(biāo)準(zhǔn)氣體、燃燒器尾氣用標(biāo)準(zhǔn)氣體六大類。
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特氣系統(tǒng)知識(shí)分享:一般混合氣體
由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。
對(duì)氣體分析儀用氣體,如含氫10%,其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%;含氫40%,其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。
在測(cè)定放1射性物質(zhì)時(shí),使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦為底氣。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。
光化學(xué)反應(yīng)、動(dòng)植物實(shí)驗(yàn)室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。
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小流量氣體凈化系統(tǒng)
高純供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣,應(yīng)用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點(diǎn)氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純的工藝氣體。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標(biāo)達(dá)到各項(xiàng)雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進(jìn)水平。
氣體配比儀采用質(zhì)量流量計(jì),電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。
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