惰性氣體手套箱分為三種

A）真空手套箱：在操作前，對整個(gè)箱體抽真空，把箱體內(nèi)空氣完全抽掉，然后充上高純氣體即可使用。優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備便宜。缺點(diǎn)：水氧雜質(zhì)含量高，通常在100PPM以上。

B）清洗手套箱：對手套箱進(jìn)行連續(xù)通氮?dú)?，不間斷地把泄漏入手套箱內(nèi)的氣體雜質(zhì)清洗出手套箱。優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備便宜。缺點(diǎn)：運(yùn)作成本高，需要消耗大量的惰性氣體。水氧雜質(zhì)含量通常在10PPM以上。

C）循環(huán)手套箱：手套箱帶有氣體凈化氣體，手套箱內(nèi)的氣體不間斷地循環(huán)過氣體凈化系統(tǒng)把水氧和有機(jī)1溶劑雜質(zhì)除去。優(yōu)點(diǎn)：運(yùn)作成本低，水氧含量低，通常小于1PPM；含PLC和觸摸屏，功能多。缺點(diǎn)：設(shè)備價(jià)格較高。

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什么是手套箱

這里所指的手套箱是一個(gè)全密閉的腔體，把腔體內(nèi)外的環(huán)境完全隔絕開，腔體的一面安裝有視窗 和手套，操作人員通過手套對腔體內(nèi)的物料進(jìn)行操作。

手套箱有多種用途

1）當(dāng)對有毒有害物料進(jìn)行操作時(shí)，手套箱可以保護(hù)操作人員和環(huán)境；

2）當(dāng)大氣環(huán)境的 物質(zhì)如細(xì)菌和粉塵會(huì)污染物料時(shí)，手套箱可以用于隔離箱體外部的物質(zhì)，保護(hù)箱體內(nèi)的材料免遭污染；

3）當(dāng)空氣會(huì)與物料作用影響物料性能時(shí)，手套箱里可以充滿 惰性氣體，箱體用于隔離箱體外部的空氣，保護(hù)箱體內(nèi)的材料免遭空氣的氣體如水、氧氣、有時(shí)甚至氮?dú)獾奈廴尽：笠粋€(gè)設(shè)備稱為惰性氣體手套箱,為要操作的物 料提供一個(gè)惰性氣體的環(huán)境。

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。此外，目前的通風(fēng)裝置都只有通風(fēng)換氣功能，不能完全避免對人體的傷害而且不能針對有害氣體進(jìn)行凈化處理，使有害氣體直接排出室外，成為空氣環(huán)境的污染源。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。