




氣體管路控制系統(tǒng)作用
主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)組成。對于一些易1燃易1爆氣體,如氫氣等,可能在設(shè)計(jì)和施工過程中稍有差異,必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。
閥門是在流體系統(tǒng)中,用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置,是使配管和設(shè)備內(nèi)的介質(zhì)(液體、氣體、粉末)流動(dòng)或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件,用來改變通路斷面和介質(zhì)流動(dòng)
方向,具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。
氣體管路控制系統(tǒng)可以用于管理控制氣體供應(yīng),包括流量,壓力,開關(guān)等,同時(shí)帶有泄漏報(bào)警1燈功能,能夠有效保護(hù)用氣安全。
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
針對過去使用中存在的問題,現(xiàn)代試驗(yàn)室對載氣的使用環(huán)境進(jìn)行了改革,即 “集中供氣系統(tǒng)”,即將使用氣體(以下簡稱載氣)集中貯存,然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點(diǎn)。其優(yōu)點(diǎn)主要有以下幾點(diǎn):
1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗(yàn)室相對獨(dú)立的房間,如果與試驗(yàn)室在同一大樓內(nèi),則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨(dú)立的房間,這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離,即使有害氣體有泄漏,也不會發(fā)生直接傷害。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。
2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個(gè)氣瓶間中與助燃?xì)怏w分開存貯。
3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個(gè)出口統(tǒng)一減壓后運(yùn)送氣體至使用點(diǎn)。因?yàn)闅馄块g是相對獨(dú)立的,整個(gè)氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處,因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險(xiǎn)縮小至氣瓶間內(nèi),可對人體及儀器的傷害可降到1低。3、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣,外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點(diǎn)的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法
特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空,外部噴氦氣的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
3、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣,外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點(diǎn)的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
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