結(jié)構(gòu)原理

手套箱結(jié)構(gòu)原理

主要由主箱體、過渡室兩部分組成。如用戶有其它特殊要求，也可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計(jì)制造。

主箱體上有兩個(gè)（或兩個(gè)以上）手套操作接口，分布在箱體的前邊（或前后兩邊），這使得本操作箱能被一個(gè)（或幾個(gè)）人同時(shí)操作，提高了箱體的使用效率。另外，在箱體的前面（或前后）都有觀察窗，操作者能夠清楚地觀察到箱體內(nèi)的操作過程，使得操作過程直觀地展現(xiàn)在操作者的眼前。過渡室的閥門上有抽氣與充氣接嘴，在需要抽氣或充氣時(shí)可由此接入。主箱體上也安裝有閥門和接嘴，用戶在需要維持氣壓平衡而對(duì)主箱體放氣或充氣時(shí)可以使用（手套口之間的三通閥必要時(shí)也可以用來放氣）。過渡室門與手套口門上的“O”型圈要定期更換（根據(jù)用戶的使用頻率而定）。主箱體的前觀察窗上方安裝了照明日光燈。

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手套箱故障分析

一、風(fēng)機(jī)跳閘

1. 檢查設(shè)備是否有溶劑過濾系統(tǒng)，觀察與溶劑過濾系統(tǒng)有關(guān)的蝶閥開啟是否正確；

2. 是否風(fēng)機(jī)未開啟而設(shè)備已經(jīng)開始工作了？這說明凈化柱上的擋板閥的反饋位置不對(duì)；

3. 也可能造成斷路器跳閘或變頻器自保的原因就是負(fù)載過大。

二、風(fēng)機(jī)出現(xiàn)雜音軸承缺油，需專業(yè)人士拆開風(fēng)機(jī)，加油保養(yǎng)。

三、手套箱不斷漏氣

1. 設(shè)備本身密封出現(xiàn)問題，保壓檢漏；

2. 過渡艙艙門未關(guān)嚴(yán)；

3. 腳踏是否被東西壓?。?

4. 凈化系統(tǒng)管路電磁閥被雜質(zhì)卡住。

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手套箱常見故障及解決辦法

1、清洗時(shí)箱壓持續(xù)增加

原因：清洗閥門沒有打開、進(jìn)氣壓力太大、管路不暢通造成。

辦法：①保證管路暢通，不要折彎；②清洗時(shí)，箱內(nèi)相對(duì)壓力持續(xù)低于0.5毫巴。

2、凈化柱主閥故障

原因：①工作氣壓力不足0.5Mpa；②主閥信號(hào)反饋故障。

辦法：①更換工作氣瓶，或檢查減壓閥副表壓力在0.5Mpa；②檢查主閥信號(hào)開關(guān)。

3、循環(huán)不能開啟

原因：風(fēng)機(jī)變頻器低壓或高壓保護(hù)。

辦法：待電壓穩(wěn)定后，關(guān)機(jī)隔1分鐘后重啟。

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；手套箱體的出氣閥門通過引風(fēng)機(jī)與所述氣體吸附凈化裝置的進(jìn)氣口通過軟管連接。在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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