




手套箱應(yīng)用領(lǐng)域及用途
手套箱應(yīng)用領(lǐng)域:
1、半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù)
2、特種燈(HID)開發(fā)與生產(chǎn)
3、微電子、激光及等離子焊
4、OLED/PLED開發(fā)與生產(chǎn)
5、鋰離子電池開發(fā)與生產(chǎn)
6、無機/有機化學(xué)研究
7、金屬鹵化物/金屬粉末/陶瓷粉末研究
8、納米材料研究
9、催化劑研究
10、YAG激光焊接
用途:操作需要隔絕空氣進行實驗,保護實驗者免受有毒化學(xué)品的傷害。比通風(fēng)柜隔絕徹底,但操作起來比較不便。主要用于毒性特別強的情況。進行可能造成嚴重生物性危害的實驗,例如病菌。
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手套箱故障分析
一、手套箱不斷抽真空
1. 過渡艙艙門未關(guān)嚴;
2. 腳踏是否被東西壓住;
3. 電磁閥塊上<凈化柱抽氣閥>是否被雜質(zhì)卡??;
4. 電磁閥塊上<箱體抽氣閥>是否被雜質(zhì)卡住。
二、手套箱用氣量增大
1. 在從工作氣氣源到設(shè)備的管路有泄漏,氣源處鋼瓶口漏氣、閥塊上進氣管接口漏氣;
2. 高真空擋板閥氣體泄漏;
3. 高真空擋板閥的壓力管出現(xiàn)漏氣,依次檢查。
真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。產(chǎn)品技術(shù)和質(zhì)量達到或超過國際知名品牌的水平,目前已為PHILIPS、OSRAM(德國)、GE、AIXTRON(德國)、三菱、三洋、PLANSEE等國際知名品牌穩(wěn)定供貨并取得豐富的國際合作經(jīng)驗。在有機真空腔室中設(shè)有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料;在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。
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