實驗室氣體的危險性

1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害；

2.多種氣體在同一個環(huán)境下使用，如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏，就可能對工作人員以及儀器設備造成傷害；

3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達15MPa，即150公斤/cm2，如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激1射出去，其能量對人體或設備都具有致命性的傷害。

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特種氣體的應用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式，在一拖多時能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制。

特種氣體的應用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

真空檢漏的方法很多，氦質(zhì)譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統(tǒng)或容器中；

漏率（漏氣速率）：是指單位時間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量；

1小可檢漏率：是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率；

檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率；

反應時間：也稱響應時間，是指從檢漏方法開始實施（如噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間；

消除時間：是指從檢漏方法停止（如停止噴吹示漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間；

漏孔堵塞現(xiàn)象：指由于真空檢漏作業(yè)操作不當導致塵?；蛞后w堵塞漏孔，檢漏時似乎不漏氣，但一經(jīng)排氣就會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏儀及其應用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢漏儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大地1推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。特氣系統(tǒng)知識分享：一般混合氣體由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。