




氣體管路控制系統(tǒng)作用
主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報警系統(tǒng)組成。對于一些易1燃易1爆氣體,如氫氣等,可能在設(shè)計和施工過程中稍有差異,必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。
閥門是在流體系統(tǒng)中,用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置,是使配管和設(shè)備內(nèi)的介質(zhì)(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件,用來改變通路斷面和介質(zhì)流動
方向,具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。
氣體管路控制系統(tǒng)可以用于管理控制氣體供應(yīng),包括流量,壓力,開關(guān)等,同時帶有泄漏報警1燈功能,能夠有效保護(hù)用氣安全。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。按照國標(biāo)要求,將所用全部氣體存放于儲氣間,并實(shí)現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。
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試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、特點(diǎn):試驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟(jì)性:建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗(yàn)室空間,更換氣瓶時不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后,應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn),合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來自于同一個氣源。此種供應(yīng)方式終會減少運(yùn)輸費(fèi)用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。
3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處,這樣的話可以更合理的設(shè)計工作場所。
4、安全性:保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。
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