




實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路
實(shí)驗(yàn)室供氣管路系統(tǒng)工程主要是為試實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)氣體,保證其儲(chǔ)存和使用的安全性。保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。按照國(guó)標(biāo)要求,將所用全部氣體存放于儲(chǔ)氣間,并實(shí)現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式,在一拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制;并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿足分析檢測(cè)設(shè)備對(duì)使用氣體的技術(shù)要求。
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實(shí)驗(yàn)供氣系統(tǒng)使用安全注意事項(xiàng)
1.易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆1炸混合氣和達(dá)到著火溫度。便會(huì)發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室
內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場(chǎng)所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下:
①可燃?xì)怏w比空氣輕者,報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的頂部。
②可燃?xì)怏w比空氣重者,報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的1低處。
③可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖,當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí),事故排風(fēng)裝置自動(dòng)開啟,同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時(shí)突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。
⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地,但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。
⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口,以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質(zhì)量。
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氣體配比器對(duì)焊接起到什么作用
氣體配比器的產(chǎn)生來自于人們對(duì)混合氣體的需求,人們?cè)诤附訉?shí)踐中逐漸發(fā)現(xiàn)在單一純凈氣體中加入適當(dāng)?shù)乃悮怏w在焊縫成型、焊接速度以及減輕飛濺上都有很明顯的改善作用,從上世紀(jì)四五十年代,這種混合氣體焊的工藝流行開來,便產(chǎn)生了氣體配比器此類專門調(diào)配混合氣體的設(shè)備。光化學(xué)反應(yīng)、動(dòng)植物實(shí)驗(yàn)室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口,以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質(zhì)量。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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