




手套箱的日常維護(hù)保養(yǎng)
1.每次工作前后,首先對環(huán)境清掃,使地面干燥,潔凈。再對設(shè)備進(jìn)行清潔,包括手套箱內(nèi)、外表面,觀察系統(tǒng),工作臺面等要無雜物,潔凈。
2.每日認(rèn)真記錄手套箱水、氧含量、設(shè)備耗氣量,避免氣體壓力不足,導(dǎo)致設(shè)備停止運(yùn)行。
3.隨時(shí)注意工作氣鋼瓶內(nèi)氣體的容量,及時(shí)更換。
4.若遇停電,通電后需按面板上的“真空泵”按鈕使真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)。
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手套箱在OLED器件制作過程中的應(yīng)用
OLED,即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode),是一種全新的顯示技術(shù)。接通氮?dú)膺M(jìn)氣路,打開氮?dú)夤?jié)制閥1,使手套鼓起,封1鎖閥門1,然后扎緊袋口。與LCD相比,可視角度寬(大于170°)、響應(yīng)時(shí)間快(LCD的千分之一)、低溫特性好(在零下40度正常顯示)、低功耗等優(yōu)點(diǎn),被業(yè)界廣泛看好成為下一代顯示技術(shù),現(xiàn)在已廣泛應(yīng)用于車載顯示器、手機(jī)顯示屏等等。并且隨著OLED技術(shù)發(fā)展,白光OLED在照明領(lǐng)域也開始嶄露頭角,尤其在城市照明、廣告牌等行業(yè)被寄予非常高期望。
通常所說OLED其實(shí)包含小分子OLED和高分子OLED(也稱PLED)兩種。小分子OLED和高分子OLED的差異主要表現(xiàn)在器件的制備工藝不同:小分子器件主要采用真空熱蒸發(fā)成膜工藝,高分子器件則采用旋轉(zhuǎn)涂覆或噴涂印刷成膜工藝。
OLED器件的制備工藝大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層→真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護(hù)層→封裝→切割→測試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)等十幾道工序
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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料;在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。也只有行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富的廠家和技術(shù)人員與用戶的良好溝通,才能保證手套箱使用狀態(tài)的良好。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。
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