




ST系列鍍膜機
ST系列鍍膜機系我司標準化產(chǎn)品,滿足大部分實驗室科研需求,豐富的可選配置也可響應您的特殊需要。特點:1、集成一體化結構。
2、極限真空度高,可達7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質(zhì)量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時間短,30分鐘左右(充干燥氮氣)。 系統(tǒng)停泵關機12小時后真空度:≤8Pa。
4、整機采用柜式結構,密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。
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對于真空鍍膜機必須要掌握的名詞
低溫冷凝泵:它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵,是目前獲得極限真空1高,抽速1大的抽氣泵。
冷凝泵的工作原理:主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。
低溫冷凝:根據(jù)各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。
冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象,通常二氧化碳、水蒸氣、氮氣、壓氣等氣體首先形成霜,于低溫表面形成吸附層,進而達到吸附其它氣體的目的,低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個原因。
低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用,由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強,故可達到氣相壓強比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。
冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關系,經(jīng)數(shù)據(jù)顯示,單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米,冷凝泵可以抽到10-8帕;此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結構、粘結材料及粘接工藝,對抽速也有很大的影響。其次關鍵在于制冷機的制冷量要足夠大。當然設備和設備周圍的灰塵、油污對設備的本身的影響也是相當之大的。
真空計:真空計是真空鍍膜機器上的重要組成部分,它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。
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真空鍍膜機鍍制薄膜不均勻的解決方法
制的薄膜的均勻性都會受到某種因素影響。真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來控制的,每個抽氣口都要同時開動并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強就不能均勻了,壓強對離子的運動是存在一定的影響的。此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結構、粘結材料及粘接工藝,對抽速也有很大的影響。另外抽氣的時間也要控制,太短會造成真空度不夠,但太長又浪費資源,不過有真空計的存在,要控制好還是不成問題的。
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