




大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(chǎng)(氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(chǎng)(氣體種類(lèi)包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類(lèi)包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25。
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試驗(yàn)室供氣需求
目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)?,因此試?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。特氣系統(tǒng)知識(shí)分享:標(biāo)準(zhǔn)氣體所謂標(biāo)準(zhǔn)氣體就是用來(lái)校正測(cè)量?jī)x器、評(píng)價(jià)測(cè)定方法、給出未知樣品氣標(biāo)準(zhǔn)值的氣體。
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特種氣體使用安全
首先,應(yīng)對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過(guò)本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門(mén)應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門(mén)。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。氦質(zhì)譜檢漏儀真空檢漏的方法很多,氦質(zhì)譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。
其次,采用監(jiān)測(cè)手段,預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測(cè)器,監(jiān)控氣體泄漏??扇夹詺怏w應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y(cè)器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過(guò)流開(kāi)關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測(cè),防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無(wú)縫不銹鋼SS-316L。
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