




ST系列鍍膜機(jī)
ST系列鍍膜機(jī)系我司標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品,滿足大部分實(shí)驗(yàn)室科研需求,豐富的可選配置也可響應(yīng)您的特殊需要。特點(diǎn):1、集成一體化結(jié)構(gòu)。
2、極限真空度高,可達(dá)7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質(zhì)量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時(shí)間短,30分鐘左右(充干燥氮?dú)猓?系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤8Pa。
4、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。
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蒸發(fā)鍍膜
一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時(shí)間,厚度大小
組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
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真空鍍膜設(shè)備的日常維護(hù)
真空鍍膜設(shè)備的運(yùn)行狀況直接影響生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)進(jìn)程等,為了使設(shè)備的運(yùn)行狀況良好,必須建立和完善設(shè)備的維護(hù)與維修制度、維護(hù)內(nèi)容、維修標(biāo)準(zhǔn)等。
設(shè)備的維護(hù)要有日常維護(hù)和定期維護(hù)
1,日常維護(hù)就是在當(dāng)天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象,就馬上解決。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油少了就要添加,不要認(rèn)為這油是定期更換的,等到了時(shí)間再維護(hù),到時(shí)候可能泵的轉(zhuǎn)子就會(huì)磨損嚴(yán)重了。第三,查看漏孔的巨細(xì),形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。再比如工件轉(zhuǎn)架的軸承有些卡,就要更換軸承,而等到它徹底的壞了再換,問題可就大了,可能引起轉(zhuǎn)架電機(jī)燒毀等現(xiàn)象。
2定期維護(hù),有人會(huì)問有了日常維護(hù)還有必要定期維護(hù)嗎?其實(shí)每一種設(shè)備都有自己的使用壽命,比如擴(kuò)散泵用的的硅油,使用壽命為兩年左右,我就規(guī)定1年半把它換掉,這樣作是不是浪費(fèi),我覺得不浪費(fèi),從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的,老板不希望看到的是機(jī)器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。只要你把日常維護(hù)和定期維護(hù)做好了,在延長設(shè)備壽命的同時(shí),生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。(1)金黃色的,是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層,TiN是第1代應(yīng)用廣泛的硬質(zhì)層材料。生產(chǎn)效率也提高了。
3,設(shè)備保養(yǎng)和維修1重要的是講究“細(xì)心”,每一個(gè)人都力求做到“我辦事,你放心”,也就是說我做的事情不需要?jiǎng)e人和自己再有懷疑!做好這一點(diǎn)可少走好多彎路,其次是要善于分析現(xiàn)象,不能盲目的拆卸。說到這里,很多人都遇到過真空方面的漏氣問題,真空部分出現(xiàn)了問題很麻煩,再加上我們公司沒有檢漏儀,這就要分階段來找。焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序,保證焊接之后的真空室不會(huì)產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象,須合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu),提高焊接質(zhì)量,處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。
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