蒸發(fā)鍍膜

一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于：

1、基片材料與靶材的晶格匹配程度

2、基片表面溫度

3、蒸發(fā)功率，速率

4. 真空度

5. 鍍膜時間，厚度大小

組分均勻性：蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

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真空鍍膜機的詳細結(jié)構(gòu)

高真空鍍膜機，鍍膜機是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件：機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng).

一、真空主體——真空腔

根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。

二、輔助抽氣系統(tǒng)

此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold”組成

排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。

機械泵：也叫前級泵，機械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

機械泵有很多種，常用的有滑閥式（此主要應(yīng)用于大型設(shè)備）、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式（此目前應(yīng)用廣泛，本文主要介紹）四種類型。

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真空鍍膜設(shè)備的日常維護

真空鍍膜設(shè)備的運行狀況直接影響生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)進程等，為了使設(shè)備的運行狀況良好，必須建立和完善設(shè)備的維護與維修制度、維護內(nèi)容、維修標準等。

設(shè)備的維護要有日常維護和定期維護

1,日常維護就是在當天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象，就馬上解決。發(fā)現(xiàn)機械泵的油少了就要添加，不要認為這油是定期更換的，等到了時間再維護，到時候可能泵的轉(zhuǎn)子就會磨損嚴重了。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏作業(yè)是很主要的，形成真空度降低的緣由多種多樣，咱們要逐個的處理這些緣由，安穩(wěn)鍍膜的作用。再比如工件轉(zhuǎn)架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了，可能引起轉(zhuǎn)架電機燒毀等現(xiàn)象。

2定期維護，有人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎?其實每一種設(shè)備都有自己的使用壽命，比如擴散泵用的的硅油，使用壽命為兩年左右，我就規(guī)定1年半把它換掉，這樣作是不是浪費，我覺得不浪費，從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的，老板不希望看到的是機器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。只要你把日常維護和定期維護做好了，在延長設(shè)備壽命的同時，生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。生產(chǎn)效率也提高了。但(QCM)的準確性是有限的，鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。

3,設(shè)備保養(yǎng)和維修1重要的是講究“細心”，每一個人都力求做到“我辦事，你放心”，也就是說我做的事情不需要別人和自己再有懷疑!做好這一點可少走好多彎路，其次是要善于分析現(xiàn)象，不能盲目的拆卸。說到這里，很多人都遇到過真空方面的漏氣問題，真空部分出現(xiàn)了問題很麻煩，再加上我們公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。此外，其中，大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì)，需要盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低價格制作，因此，采用薄膜的情況很多。

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