蒸發(fā)鍍膜

一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于：

1、基片材料與靶材的晶格匹配程度

2、基片表面溫度

3、蒸發(fā)功率，速率

4. 真空度

5. 鍍膜時(shí)間，厚度大小

組分均勻性：蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對(duì)于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

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對(duì)于真空鍍膜機(jī)必須要掌握的名詞

低溫冷凝泵：它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種泵，是目前獲得極限真空1高，抽速1大的抽氣泵。

冷凝泵的工作原理：主要是低溫表面對(duì)氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。

低溫冷凝：根據(jù)各種氣體的特性，采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。

冷捕集：就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象，通常二氧化碳、水蒸氣、氮?dú)?、壓氣等氣體首先形成霜，于低溫表面形成吸附層，進(jìn)而達(dá)到吸附其它氣體的目的，低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個(gè)原因。

低溫吸附：指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用，由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強(qiáng)，故可達(dá)到氣相壓強(qiáng)比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。

冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系，經(jīng)數(shù)據(jù)顯示，單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米，冷凝泵可以抽到10-8帕；只要你把日常維護(hù)和定期維護(hù)做好了，在延長設(shè)備壽命的同時(shí)，生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝，對(duì)抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機(jī)的制冷量要足夠大。

真空計(jì)：真空計(jì)是真空鍍膜機(jī)器上的重要組成部分，它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。

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真空鍍膜設(shè)備的日常維護(hù)

真空鍍膜設(shè)備的運(yùn)行狀況直接影響生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)進(jìn)程等，為了使設(shè)備的運(yùn)行狀況良好，必須建立和完善設(shè)備的維護(hù)與維修制度、維護(hù)內(nèi)容、維修標(biāo)準(zhǔn)等。

設(shè)備的維護(hù)要有日常維護(hù)和定期維護(hù)

1,日常維護(hù)就是在當(dāng)天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象，就馬上解決。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油少了就要添加，不要認(rèn)為這油是定期更換的，等到了時(shí)間再維護(hù)，到時(shí)候可能泵的轉(zhuǎn)子就會(huì)磨損嚴(yán)重了。再比如工件轉(zhuǎn)架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了，可能引起轉(zhuǎn)架電機(jī)燒毀等現(xiàn)象。另外抽氣的時(shí)間也要控制，太短會(huì)造成真空度不夠，但太長又浪費(fèi)資源，不過有真空計(jì)的存在，要控制好還是不成問題的。

2定期維護(hù)，有人會(huì)問有了日常維護(hù)還有必要定期維護(hù)嗎?如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，1好能達(dá)到1mmHg。其實(shí)每一種設(shè)備都有自己的使用壽命，比如擴(kuò)散泵用的的硅油，使用壽命為兩年左右，我就規(guī)定1年半把它換掉，這樣作是不是浪費(fèi)，我覺得不浪費(fèi)，從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的，老板不希望看到的是機(jī)器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。只要你把日常維護(hù)和定期維護(hù)做好了，在延長設(shè)備壽命的同時(shí)，生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。生產(chǎn)效率也提高了。

3,設(shè)備保養(yǎng)和維修1重要的是講究“細(xì)心”，每一個(gè)人都力求做到“我辦事，你放心”，也就是說我做的事情不需要?jiǎng)e人和自己再有懷疑!艾明坷科技有限公司主營手套箱，如需了解更多詳情,歡迎與我們交流。做好這一點(diǎn)可少走好多彎路，其次是要善于分析現(xiàn)象，不能盲目的拆卸。說到這里，很多人都遇到過真空方面的漏氣問題，真空部分出現(xiàn)了問題很麻煩，再加上我們公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。

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真空鍍膜機(jī)鍍制薄膜不均勻的解決方法

制的薄膜的均勻性都會(huì)受到某種因素影響。真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來控制的，每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開動(dòng)并力度一致，這樣就可以控制好抽氣的均勻性，如果抽氣不均勻，在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了，壓強(qiáng)對(duì)離子的運(yùn)動(dòng)是存在一定的影響的。另外抽氣的時(shí)間也要控制，太短會(huì)造成真空度不夠，但太長又浪費(fèi)資源，不過有真空計(jì)的存在，要控制好還是不成問題的。根據(jù)現(xiàn)象判斷原因，然后再去根據(jù)判斷找問題，可能會(huì)收到事半功倍的效果。