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高純供氣系統(tǒng)價格歡迎來電
2021-06-18






實驗室集中供氣的優(yōu)點

1、保持氣體純度

2、不間斷氣體供應(yīng):系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換,保證氣體連續(xù)供應(yīng)

3、低壓警示:當氣壓低于警報限時,報警裝置可自動啟動報警

4、氣體壓力穩(wěn)定:系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力

5、率:通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本

6、操作簡便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運安裝的操作,節(jié)約時間和成本費用

7、無氣瓶在實驗室:可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間

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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。按照國標要求,將所用全部氣體存放于儲氣間,并實現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。

艾明坷科技有限公司主營手套箱,如需了解更多詳情,歡迎與我們交流!


電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定

1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng),內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點經(jīng)修補后,應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗,合格后再按規(guī)定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應(yīng)用塑料袋進行隔離。系統(tǒng)測試完畢,應(yīng)充入高純氮氣,并進行吹掃。測試完畢后,應(yīng)提交測試報告。



氦質(zhì)譜檢漏儀

真空檢漏的方法很多,氦質(zhì)譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統(tǒng)或容器中;

漏率(漏氣速率):是指單位時間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量;

1小可檢漏率:是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率;

檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率;

反應(yīng)時間:也稱響應(yīng)時間,是指從檢漏方法開始實施(如噴射示漏氣體)到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間;

消除時間:是指從檢漏方法停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間;

漏孔堵塞現(xiàn)象:指由于真空檢漏作業(yè)操作不當導(dǎo)致塵?;蛞后w堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經(jīng)排氣就會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。





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