




實(shí)驗(yàn)室集中供氣的優(yōu)點(diǎn)
1、保持氣體純度
2、不間斷氣體供應(yīng):系統(tǒng)可以以手動(dòng)方式和自動(dòng)方式在氣瓶之間進(jìn)行切換,保證氣體連續(xù)供應(yīng)
3、低壓警示:當(dāng)氣壓低于警報(bào)限時(shí),報(bào)警裝置可自動(dòng)啟動(dòng)報(bào)警
4、氣體壓力穩(wěn)定:系統(tǒng)采用兩級(jí)減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力
5、高效率:通過(guò)供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本
6、操作簡(jiǎn)便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運(yùn)安裝的操作,節(jié)約時(shí)間和成本費(fèi)用
7、無(wú)氣瓶在實(shí)驗(yàn)室:可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實(shí)驗(yàn)室操作空間
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實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路
指氣瓶至儀器終端之間連接管線,一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門(mén)-管線-過(guò)濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成,輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。
使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動(dòng)調(diào)節(jié)閥來(lái)控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無(wú)縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈,使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門(mén)、壓力調(diào)節(jié)閥門(mén)、壓力表來(lái)指示氣體壓力。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(氣體種類(lèi)包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類(lèi)包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類(lèi)包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類(lèi)包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類(lèi)包括HCL)等行業(yè)。并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿(mǎn)足分析檢測(cè)設(shè)備對(duì)使用氣體的技術(shù)要求。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。
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