手套箱功能

1、密閉循環(huán)：真空手套箱和氣體凈化系統(tǒng)構(gòu)成一個密閉的循環(huán)系統(tǒng)，由氣體凈化系統(tǒng)提供氣體循環(huán)動力。

2、人機對話：配置彩色觸摸屏，中文界面，實現(xiàn)人機對話，操作便捷

3、自動控制（由彩色觸摸屏的人機界面和PLC程序控制系統(tǒng)集成對系統(tǒng)進行控制）

實現(xiàn)功能：手/自動控制箱體壓力；

手/自動控制氣體凈化系統(tǒng)的凈化狀態(tài)；

自動控制氣體凈化系統(tǒng)的還原過程；

手/自動凈化系統(tǒng)還原、凈化及轉(zhuǎn)換凈化柱（配置雙凈化柱時）；

自動箱體氣氛報警；

箱體內(nèi)氣氛和壓力參數(shù)設(shè)置和手/自動轉(zhuǎn)換；

氣體凈化系統(tǒng)自動控制功能的參數(shù)設(shè)置；

查閱系統(tǒng)歷史紀錄；

氣體凈化系統(tǒng)執(zhí)行機構(gòu)工況檢測；

程序控制系統(tǒng)的操作錯誤和警告提示

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手套箱操作前的工作

1、檢查氮氣瓶里是否有氮氣，氮氣要及時更換，氮氣的輸出壓力設(shè)定為0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正常開啟。

3、檢查手套箱內(nèi)循環(huán)是否打開。（凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的一個）

4、檢查設(shè)定里的上限壓力應為+1，下限壓力為0

5、檢查氧和露1點是否正常（氧為0.1ppm以下，露1點-40以上）

6、過度艙真空泵應處于常開狀態(tài)

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機真空腔室中設(shè)有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料；求非常嚴格，不論在先前測試或組裝，都必須在水、氧值濃度極低的環(huán)境下進行，例如手套箱水、氧值濃度小于1PPM。在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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