實(shí)驗(yàn)室氣路安裝要求

1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。

2、氣路安裝管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。

3、易1燃?xì)怏w，如乙1炔需要和其他氣體分開單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門隔離，以方便對(duì)過濾裝置進(jìn)行維修。

5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。

6、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測(cè)規(guī)定

1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)猓⑦M(jìn)行吹掃。測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。

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小流量氣體凈化系統(tǒng)

高純供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣，應(yīng)用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點(diǎn)氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純的工藝氣體。氣體管路控制系統(tǒng)可以用于管理控制氣體供應(yīng)，包括流量，壓力，開關(guān)等，同時(shí)帶有泄漏報(bào)警1燈功能，能夠有效保護(hù)用氣安全。

氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標(biāo)達(dá)到各項(xiàng)雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進(jìn)水平。

氣體配比儀采用質(zhì)量流量計(jì)，電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。