




蒸發(fā)鍍膜
一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時間,厚度大小
組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
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真空鍍膜技術的應用領域
1.在裝飾品方面
隨著經(jīng)濟的發(fā)展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內(nèi)外裝飾件、五金箱包、手機殼、手機視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。
2.在刀具、模具等金屬切削加工工具方面
在生活中,我們會看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過鍍膜技術加工后的涂層工具。
(1)金黃色的,是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層,TiN是代應用廣泛的硬質(zhì)層材料。
(2)黑色的,是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。
(3)鈷銅色的,是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。
3.在建筑玻璃和汽車玻璃上
建筑玻璃有透光和隔熱兩個基本功能。
普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量,這對采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會造成很大的損失。
隨著經(jīng)濟的發(fā)展,普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求,而陽光控制膜和低輻射膜正好能彌補了普通玻璃在這一方面的不足。陽光控制膜可以滿足低緯度地區(qū)降低室內(nèi)溫度的要求;而低輻射膜則能滿足高緯度地區(qū)充分接受太陽輻射能量和1大限度阻止室內(nèi)熱量外流的要求。第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
在玻璃上,鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃,這種工藝在汽車玻璃上有很好的應用。
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現(xiàn)代真空鍍膜機膜厚測量及監(jiān)控方法
涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅動的蒸發(fā)源,通過PID控制回路傳動擋板,使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過程。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學厚度的涂層質(zhì)量。
此外,雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定,但溫度高,它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中,鍍膜機很難避免傳感器為敏感的區(qū)域,導致薄膜的重大錯誤。 光學監(jiān)測是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式,鍍膜機這是因為它能準確控制膜的厚度(如果使用得當)。
精度的提高,由于許多因素,但根本的原因是光學厚度的監(jiān)測。optimalswa-i-05單一波長的光學監(jiān)測系統(tǒng),是間接控制,鍍膜機先進的光學監(jiān)測軟件結合王博士的發(fā)展,有效地改善和靈敏度變化的光反應的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監(jiān)測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。1964年,采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁,解決了飛機零件的“鎘脆”問題。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。
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真空鍍膜機的檢漏方法
真空鍍膜機廠家查看漏氣狀況是確保真空鍍膜機真空度的一項查看辦法,簡稱檢漏,真空度的凹凸是直接影響到鍍膜作用的,所以檢漏是必不可少的。
通常真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的銜接位細縫中發(fā)生,當抽氣系統(tǒng)抽氣后使真空室內(nèi)壓強降低,外部與內(nèi)部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內(nèi),形成真空度降低。
真空鍍膜機廠家介紹在檢漏的過程中,需求注意一些問題,才能把檢漏作業(yè)做好。為真空鍍膜設備做好檢漏作業(yè)是很主要的,形成真空度降低的緣由多種多樣,咱們要逐個的處理這些緣由,安穩(wěn)鍍膜的作用。
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