電子特氣系統(tǒng)的維護

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應系統(tǒng)，因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護需要專業(yè)、有經(jīng)驗的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且安全可靠。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間，如果與試驗室在同一大樓內(nèi)，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發(fā)生直接傷害。在維護前關(guān)閉鋼瓶閥門，設置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

（2）管路的維護，由于不同的氣體性質(zhì)不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（N2purge），一般至少反復30次，對于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關(guān)閉閥門，1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆1炸事故，必須在排氣管道上設置阻火器。

以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法

特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

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特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應輕裝輕卸，嚴禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應在封閉空間內(nèi)用惰性氣體（如氮氣、二氧化碳等）進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時，應對氣體及電氣采取適當?shù)谋Ｗo措施。不要使用損壞的設備，如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應比較干燥，并有良好通風，嚴禁明火和其它熱源，嚴禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴禁吸煙，氣瓶不應接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒，應永遠使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。 

特種氣體使用安全

首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應采用焊接系統(tǒng),機械接頭均應置于抽風罩內(nèi)。4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測手段,預防事故發(fā)生。設置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏?？扇夹詺怏w應設置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應設置過流開關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應進行負壓監(jiān)測,防止抽風系統(tǒng)的失效。閥門是在流體系統(tǒng)中，用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置，是使配管和設備內(nèi)的介質(zhì)(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。偵測系統(tǒng)應與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應進行遠程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應設置不間斷電源。