特氣系統(tǒng)知識分享：標(biāo)準(zhǔn)氣體

所謂標(biāo)準(zhǔn)氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標(biāo)準(zhǔn)值的氣體。05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求。它分為調(diào)整零位用標(biāo)準(zhǔn)氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標(biāo)準(zhǔn)氣、工業(yè)分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)1療儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣體、可燃性氣體泄漏用標(biāo)準(zhǔn)氣體、燃燒器尾氣用標(biāo)準(zhǔn)氣體六大類。由于使用了標(biāo)準(zhǔn)氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。

標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)用范圍很廣,在化工、石油冶金、機(jī)械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領(lǐng)域?qū)?biāo)準(zhǔn)氣體的需求量相對較大。

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試驗室供氣現(xiàn)狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時，當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域，然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)。

但是考慮安全和效率因素，不考慮經(jīng)濟(jì)性因素，集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當(dāng)今試驗室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源，氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)，并可通過安裝在工作臺上的使用點(diǎn)二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

國內(nèi)比較老的試驗室在使用氣體的時候大多是將氣瓶放在用氣點(diǎn)的旁邊，然后在氣瓶出口處安裝一個減壓器，然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上，如果一個試驗室里有多個使用設(shè)備時，就會有很多氣瓶，同時有很多雜亂的管路，同時這些氣體不乏有毒氣體、強(qiáng)腐蝕氣體，以及氣瓶出口高壓等因素，使得這種方式在現(xiàn)實(shí)使用過程中是充滿危險性的。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。

高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，對氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格，需要達(dá)到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。③可燃?xì)怏w的報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時，事故排風(fēng)裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。